氦質譜檢漏儀光刻機檢漏
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氦質譜檢漏儀光刻機檢漏

氦質譜檢漏儀光刻機檢漏
上海伯東客戶日本某生產半導體用光刻機公司, 光刻機真空度需要達到 1x10-11 pa 的超高真空, 因為設備整體較大, 需要對構成光刻機的真空相關部件進行檢漏且要求清潔無油, 滿足無塵室使用要求, 為了方便進行快速檢漏, 采購伯東 Pfeiffer 便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310.

光刻機檢漏方法: 采用真空模式檢漏, 漏率值設定為 1x10-11pa m3/s.
1. 通過波紋管與光刻機真空系統連接
2. 使用噴槍, 噴掃管路, 腔體焊縫, 接頭等部位, 如果存在超過設定漏率值的狹縫, 檢漏儀會時時發出聲光報警, 同時在屏幕上顯示漏率值.
氦質譜檢漏儀光刻機檢漏
便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310 主要技術參數:

對氦氣的最小檢測漏率

真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸槍模式 1E-8 Pa m3/s

檢測模式

真空模式和吸槍模式
檢漏方法>>

氦質譜檢漏儀無油前級泵抽速

1.7 m3/h

檢測氣體

4He , 3He, H2

響應時間

<1s

對氦氣的抽氣速度

1.1 l/s

氦質譜檢漏儀進氣法蘭

DN 25 ISO-KF

進氣口最大壓力

15 hPa

通訊接口

RS-232

工作溫度

10-40 °C

噪音水平

< 45 dB (A)

尺寸

350 X 245 X 141 mm

重量

21 kg (46 lb)

鑒于客戶信息保密, 若您需要進一步的了解光刻機檢漏, 請參考以下聯絡方式
上海伯東: 葉小姐                                   臺灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
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